項(xiàng)目

參數(shù)

測(cè)量范圍

*大直徑

ф300mm

*小內(nèi)徑

ф5mm

*大高度

420mm

主軸精度

徑向誤差

±(0.025+5H/10000)μm

軸向誤差

±(0.025+6X/10000)μm

回轉(zhuǎn)軸線與Z軸導(dǎo)軌平行度

1.2μm/200mm（母線基準(zhǔn)）

工作臺(tái)

臺(tái)面直徑

φ150mm

回轉(zhuǎn)直徑

φ400mm

承載重量

30Kg

調(diào)整范圍

調(diào)偏心±3mm ; 調(diào)水平±2°

旋轉(zhuǎn)速度

0-12 rpm

立柱

直線度（窄范圍）

0.3μm /100mm

直線度（全范圍）

0.8μm /300mm

水平臂

水平移動(dòng)距離

160mm

移動(dòng)速度

0.5-6mm/s 或手動(dòng)

傳感器

sensor

量程

500μm (半徑差)  

分辨率Resolution

0.005μm

測(cè)針形狀

φ2x10mm、φ1x10mm、φ0.5x10mm

紅寶石球測(cè)頭各一個(gè)

測(cè)力

1-12g

數(shù)據(jù)采集

進(jìn)口光柵14400點(diǎn)/周

放大倍率

任意至*大20萬(wàn)倍

氣源壓力

0.45～0.80Mpa

氣源流量

≥0.2 m3/min

電源

AC 220V±10%  50Hz

環(huán)境要求

溫度(T)：10～30℃；相對(duì)濕度(RH)：＜85%

部件名稱(chēng)

項(xiàng)目名稱(chēng)

機(jī)械部分

主機(jī)儀器架               x1

大理石工作臺(tái)面               x1

高精密氣浮主軸       x1

氣浮立柱系統(tǒng)         x1

橫導(dǎo)軌移動(dòng)裝置             x1

調(diào)心調(diào)平工作臺(tái)

臺(tái)面直徑Ф150mm、臺(tái)面高度50mm

調(diào)整范圍：調(diào)偏心±3mm ; 調(diào)水平±2°

精密三爪卡盤(pán)

外尺寸裝夾范圍：ф1 mm ~~ф81mm

內(nèi)尺寸裝夾范圍：ф31 mm ~~~ф70 mm

空氣過(guò)濾系統(tǒng)  x1

電器部分

電器控制系統(tǒng)              x1

圓光柵編碼器         x1

電感傳感器                    x1

φ2x10mm、φ1x10mm、φ0.5x10mm  紅寶石球測(cè)頭各一個(gè)

電腦                                  x1

HP噴墨打印機(jī)                x1

測(cè)量軟件                              x1

標(biāo)準(zhǔn)件

標(biāo)準(zhǔn)玻璃半球                x1

橢圓標(biāo)準(zhǔn)件                       x1

圓柱標(biāo)準(zhǔn)器                  x1