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新宇宙cosmos XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀
檢測(cè)對(duì)象:H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
檢測(cè)濃度:1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
檢測(cè)原理:專(zhuān)線型半導(dǎo)體式
采樣方式:自動(dòng)吸引式
應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體制造
產(chǎn)品描述:半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)
01.產(chǎn)品特點(diǎn)
● 小型·輕量
● 可以檢查非常微量的氣體泄漏
● *適合氫氣相關(guān)設(shè)備的保安
● 搭載的泵有自動(dòng)停止功能
● 搭載[自動(dòng)氣體排氣模式]功能
● 保護(hù)等級(jí)約為IP22(JIS C 0920)※安裝皮套時(shí)
新宇宙cosmos XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀產(chǎn)品用途
半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)
新宇宙cosmos XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀產(chǎn)品參數(shù)
型號(hào) |
XP-703DⅢ |
檢測(cè)對(duì)象氣體 |
H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3 |
檢測(cè)原理 |
專(zhuān)線型半導(dǎo)體式 |
采集方式 |
自動(dòng)吸引式 |
可檢測(cè)泄漏量 |
H2 :5.07×10-7、AsH3 :2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3:1.52×10-7 |
可檢測(cè)濃度 |
H2 :5.07×10-7、AsH3 :2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3:1.52×10-7 |
反應(yīng)時(shí)間 |
10秒以?xún)?nèi) |
顯示方式 |
液晶數(shù)字(手動(dòng)背景燈) |
電源(額定) |
5號(hào)堿性干電池(LR6) 2節(jié) |
電池使用時(shí)間※1 |
約12小時(shí)(5號(hào)堿性干電池、25℃時(shí)) |
保護(hù)等級(jí)※2 |
相當(dāng)于IP22※3 |
使用壓力范圍 |
大氣壓(800~1100kpa) |
使用溫濕度范圍 |
0~40℃/85%RH以下(但不能結(jié)露) |
外形尺寸 |
W38×H130×D32㎜(突出部分除外) |
重量 |
約190g(包括電池、皮套) |